一．真空室

1.內腔尺寸：φ500mm(直徑)×500mm(高) ，門框厚度27mm,圍板厚6mm,上下底板厚20mm。真空室體內、外表面進行拉絲拋光處理，密封面鏡面拋光。                    

2.形式：立式前開門, 門開關由氣缸控制。門面及腔體外壁焊接不銹鋼矩形水管，并通冷卻水(含高閥上與真空室的連接部位)，高閥抽氣室與腔體整體連接。

3.材料：采用304不銹鋼材料

4.防污板：

A.內襯不銹鋼材料（304）防污板，底部防污隔熱板σ=2mm(做型）；側面防污板δ=1mm；

B.底部防污板無需螺母固定；

C.真空室底面防污板共2套以便優化生產周期；

D.防污板進行更精細化設計：1、能防護到轉動系統中心部件；2、能有效防護晶控探頭的四壁及導線；

5.觀察窗：門上部設觀察窗口1個,以便觀察金屬鍍膜。金屬鍍膜窗口為直接水冷式，裝備有耐高溫石英玻璃、防輻射玻璃和防強光防護鏡。

6.在抽氣口設置插入式百葉窗擋板（2套）、防滑片柵網，拆卸清洗方便。

二．真空系統

1.極限真空度：3.0×10^-4Pa（真空室內安裝完全的條件下測試）

2.恢復真空時間：大氣→4×10^-3Pa≤15min

3.測試方法：

A.腔體內應清潔、無樣品、無鍍膜材料。

B.配睿寶數字復合真空計壹套（兩路低真空電阻規，一路高真空電離規），帶通訊接口

C.低真空測量規：ZJ-52型電阻規（玻璃規），其測量范圍1×103 Pa～10^-1Pa。

D.高真空測量規：金屬規（電離規），其測量范圍10Pa～10^-5Pa。

E.測量規管加金屬保護套：充氣系統特殊設計，整個靶面充氣均勻性，輝光放電效果好。

4.真空系統配置：A.TYFB-1600 復合分子泵（一臺）(抽速1600L/s,泰岳恒）

                            B.直聯泵BS90型（一臺）（抽速28L/s,浙江鮑斯），帶腳輪可自行移動。

5.真空閥門：高真空閥門、低真空閥門、預真空閥門、防喘流閥門均采用活塞式，氣缸驅動，氣缸采用電磁閥切換汽源，并安裝在散熱條件好，易于快速維修的位置。

6.放氣閥采用氣缸控制，設置在抽氣室頂部。               

7.真空室內密封圈全部采用氟橡膠，能承受高溫烘烤，各部分密封安全可靠。

8.真空系統管道采用不銹鋼波紋管連接，以減小震動。

9.所有的抽氣管道選用..不銹鋼材料，并進行拋光處理

10.低閥、預閥、防湍閥、放氣閥等采用304不銹耐酸鋼制造。

三．蒸發源：

1.磁控濺射靶，配2個靶。靶尺寸為200mmX40mm，靶體通冷卻水，靶的磁場結構、水冷結構必須適應相應的薄板靶材、導磁性靶材。

2.靶電源配國產5KW直流電源。

3.2個靶分布在實體兩測

4.氣動擋板安裝不銹鋼絲網，防止擋板上膜料污染靶材。離子轟擊。棒狀陰極，直流電壓3kⅤ，功率600W

還有更多關于成都箱式真空鍍膜機的信息請持續關注鑫南光公司官網信息更新。