關于四川箱式真空鍍膜機產品介紹：

一、概述及特點

1.該鍍膜機適用于電子工業濺射各種膜，是開展各種金屬膜工藝研究的理想設備。

2.該鍍膜機廣泛應用于微電子、濺射及光學成膜技術領域。

3.專用電源可有效防止靶中毒及打火現象

4.濺射室取消了傳統的鐘罩升降機構，特別適合凈化間安裝，整機操作極為方便。

5.采用機電化一體設計，占地面積小，整體性強，外形整潔美觀。

二、主要技術參數

1.真空室內徑： Φ530mm；

2.真空室高度： 550mm；

3.極限真空度： 3x10^-4Pa；  

4.恢復真空： 從排大氣到4x10^-3Pa≤15min (冷態)；

5.工件夾具轉速： 3-30r.p.m  工轉為公轉，轉速可調；

6.基片烘烤： 采用中心烘烤，管狀加熱器加熱，溫度250°C，可控可調；

7.工件盤形式： 頂部吊裝；

8.濺射方式： 直流濺射；

9.磁控靶數量： 矩形靶，3只。（鋁靶3件；鉻靶、鎳靶各1件）；

10.有效濺射面積： 吊裝工件平臺范圍內；

11.分子泵： F-250型 1600L/S 北京泰岳恒；

12.直聯泵： BSV-90直聯泵；

13.電源： 三相四線制：220/380V,50Hz；

14.總功率： 約30Kw；

15.耗水： 約40L/min；

16.壓縮空氣： 0.6-0.8MPa；

17.水壓： ≥0.2Mpa；

18.總重量： ≈2T；

19.外形尺寸： 2680(寬)x1200(深)x1800(高)mm；

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